既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件台技術上取得了突破，蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。

但他太了解曲慧了。

這姐妹兒，幹練豪爽不說，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎麼問都是沒個結果的。

好在一小時並不長，當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper後，時間便迅速流逝起來。

嗯，主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。

……

一小時後，曲慧與鄭振川如約而至。

“鄭叔，慧姐，好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等着，就連茶都已經準備好了。

“嗯，是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭髮，還梳了個馬尾，脖子上圍着絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。

“這下可以說了吧，到底是什麼驚喜——別讓我猜啊。”

“其實就是工件台成了。”曲慧一副雲淡風輕的表情，端起茶杯吹了口氣後笑眯眯地道：“你猜到了是吧？”

“你和鄭叔一起過來，不是光刻機的事還能是啥？”蘇遠山一攤手，笑道：“讓我乾等了一個小時，再驚的喜也給整沒了。”

“害！我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了，周小慧呢？”

“不知道，估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來，她去接待一下。”蘇遠山頓了頓，望向鄭振川：“鄭叔，別告訴我，你們已經將工件台用在光刻機上了。”

“哈哈，當然沒有。”

鄭振川放下茶杯，沖蘇遠山樂道：“你先聽小曲的，等會我再說。”

“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣，頓時心中多了幾分“警惕”起來。

這老爺子，語氣聽起來不對吶！

感情這次不是單純的“報喜”，似乎還有套等着自己。

不過他依舊不動聲色，整個人放鬆了姿勢：“曲慧姐，你說，工件台到底怎麼樣了。”

“成了，但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開玩笑，正色了起來：“你知道的，制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”

蘇遠山點頭：“嗯，不用你說，我就算再不懂機械也知道。”

“精度的最大問題又會最終落在電機控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道。

“雙工件台的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來，原理就是把在曝光過程中處於等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件台曝光，一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測量對準，從而直接就可以移動平台，然後曝光。”

“根據我們的估計，在目前的工藝水平下，採用雙工件台除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——別的不說，10%起碼有的。”

蘇遠山再次點頭：“然後呢？”

“我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程控制系統上。”

蘇遠山聽得眉毛一揚！

他哪怕對雙工件台的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件台最困難的地方便是運動定位系統，是真正的“牽一髮動全身”“差之毫厘，謬之千里”。

而且蘇遠山還知道，ASML的初代雙工件台，其實效率並不十分高，只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之後才正式宣判尼康和佳能死刑。

雙工件台技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。

但一切的前提還是控制系統。

那麼……既然都已經取得突破了，還有什麼麻煩？

“那麻煩在哪？”

“麻煩在於，我們目前只能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮着眉，凝望着蘇遠山道：“而且，精度越高，摩擦係數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。”

“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件台無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。”

“還有一點，我們目前的工業基礎，只能允許我們做到這個極限。”

蘇遠山沉默地聽着曲慧的介紹，終於明白了她的憂慮在哪。

幾秒後，蘇遠山微笑着搖頭：“曲慧姐，其實你們已經很厲害了。”

他這句話不是安慰人，而是真心這樣認為。

雖然他很少直接去首都精科那邊，但各種支持從來都是不遺餘力的。要什麼協助給什麼協助，就算要機床，他也在前年的時候費盡周折地搞了一台。

所以，雙工件台名義上是首都精科一個企業搞的技術，但實際上，卻是一個由原首都精密儀器研究所，遠芯，志遠，清華這四方巨頭聯合進行的一次技術攻關。

從陣容上，這個團隊就已經堪稱豪華了。

要知道，搞機械，特別是精密機械，它不比搞程序設計。

程序設計可以叫囂“只有想不到，沒有做不到”，但機械設計還真是，你能想到，但基本上辦不到。

雙工件台的構思說白了，就如曲慧所說的那樣，源自華羅庚老先生的統籌方法——就是在等待燒開水的過程中就把茶杯洗乾淨，茶葉拿出來丟進杯子里，順便還擰着暖水壺在一旁等着，只要水開，馬上就能泡茶，裝水，一氣呵成。比等水開了再去找茶葉洗茶杯要節約很多時間。

但真要實現起來卻不簡單，畢竟這是兩個工件台的協同配合，而且要保持高速運動下的0.5微米的運動精度——其難度相當於在兩架並肩飛行的飛機上，其中一架飛機伸出一根杆子，在對面的機身上刻0.5微米大小的字。

至於為什麼曲慧會在取得如此的成果後依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠山完全能夠理解。

因為曲慧剛出校門就進入了遠芯，親自參加了EDA的誕生，又親眼見證了遠芯在各個領域的崛起。

說白了，就是曲慧所參與，所看到的，全是世界頂級的技術成果。

雙工件台雖然出來了，卻無法給國產光刻機帶來本質上的技術飛躍。

她不甘心。

“這樣，曲慧姐，我給你指一條方向。”蘇遠山不知道雙工件台技術接下來要具體往哪一邊走，但蘇遠山卻知道雙工件台的未來在何方。

“嗯？你說什麼方向。”

“目前工件台的最大難點還是在於高速運動下所導致的一系列麻煩，所以……如果要把目光瞄準到十年，二十年之後，瞄準到納米級精度的話，我認為，只有一條路，就是磁懸浮。”

“磁懸浮？”曲慧聞言一怔，直愣愣地望着蘇遠山。

鄭振川也驚訝起來：“小山，磁懸浮能用在工件台上？”

“不是磁懸浮能用在工件台上，而是工件台要擺脫摩擦和阻尼的桎梏，實現超精密運動控制，在現有的自然科學和機械空城的框架下，就只有磁懸浮這一條路。”

曲慧沉默數秒後慢慢點頭，喃喃道：“是了，磁懸浮技術可以最大作用地發揮我們的運動控制模塊的優勢，避開短板。”