最新網址：www. 晚上十二點，整個江夏電子廠的大部分車間都已經黑漆漆一片，只有值夜班的保衛科人員，在打着手電筒來回巡邏。

然而只在芯片車間所在的西北角，這裡仍然燈火通明，那為了避免干擾光刻而獨有的黃光，代表裡面仍然處於緊張的工作狀態，那黃澄澄如同霧蒙蒙一般的光暈，似乎也預示着光刻作為頂尖精密製造的神秘。

車間辦公室里，總工程師張本松和一眾工程師都圍坐在桌前開會。

“的確這種投影式光刻機對比之前的接觸式光刻機提高了相當大精度，而且採用凹透鏡和凸透鏡相結合的高斯型鏡頭，也能消除大部分場曲和像差。”

“除此之外還有光掩模的製作，以及烘焙刻蝕這些，也基本和接觸式光刻步驟一樣，不需要我們額外掌握，甚至於由於光掩模無需再直接接觸光刻膠，烘焙的精度也變得不那麼重要，這是我們的優勢。”

“但同時我們也必須注意到，由於接觸改投影，我們也面臨光刻方面的新問題，首當其衝的就是光衍射問題……”

還是那個最煩人的原理，光不是沿一條直線傳播，而是具有波粒二象性，尤其在通過窄縫以後，這種衍射現象更加嚴重。

“雖然經過今天一天的測試，以及和江夏電子廠的同志，還有遠在寧海的同志交流以後，對我們有很大的啟發，我們也收穫了相當不錯的成果，但這還遠遠不夠，我希望大家明天能再接再厲，早日攻克投影式光刻技術！”

張本松看了一眼牆上的時鐘，然後告訴大家今天時間已經很晚，示意大家都回去休息：“我知道大家都很為技術着急，但攻克技術並不是一朝一夕的事，身體才是革.命的本錢，大家都休息好了，才能以更加飽滿的狀態迎接新的挑戰！”

總結完然後散會，一眾技術工人和工程師們先行離開，張本松留在最後。

有人勸張本松也先去休息，但張本松卻總是笑着表示：“我就差最後一點沒記錄完，這種事情可不能拖，你們先回去休息吧，我記錄完就休息。”

張本松繼續埋頭，雖說他的右手經過醫院的診治已經好的差不多了，但仍然不好握筆，因此影響他記錄工作。

很快一個小時過去，當張本松完成對今天工作的記錄，他卻沒有離開辦公室去休息，而是走向芯片車間，撕下自己記錄的那張紙貼在潔凈室外面的玻璃上。

這是張本松他們的常規操作，由於要確保潔凈室內的絕對乾淨，因此就連紙張他們也避免帶進去，但同時他們又需要根據自己的運算做出調整，只好從外面貼在玻璃上，將玻璃當成提示板用了。

熟練的取出一張打磨好的硅晶圓，按照步驟清洗塗膠烘焙。

儘管這些都是從接觸式光刻沿用下來的步驟，張本松都做過好幾十次，但他仍然小心翼翼，確保每一步都準確無誤。

很快三個小時過去，當張本松帶着隔熱手套從烤箱里取出烘焙好的硅晶圓時，就聽潔凈室的玻璃杯輕輕敲響，張本松轉頭就看到幾張熟悉的臉孔，那是自己手底下學習最認真的工程師和技術工人。

為了避免說話飛沫污染潔凈室，張本松打手勢詢問他們怎麼這麼早就來了，現在天亮了嗎？

外面的工程師寫字條高速張本松現在才只凌晨四點，他們是因為睡不着才想着過來車間再做一遍測試，好為白天收集更多的數據。

張本松想喊他們回去休息，可伸出潔凈室，手上還拿着硅片，他沒辦法，只好指了指自己粘在玻璃上的紙條，反正這些人來都來了，就讓他們進來幫幫忙吧。

張本松走到門口告訴他們自己認為提高投影式光刻的精度跟控制光照時間和光刻次數有關。

“雖說光刻就像照相一樣瞬間就能完成，但並不意味着光刻就整體完成，他可能存在光刻不到位的問題，可如果我們提高光照時間和次數，可能又會帶來新的衍射以及過度曝光等問題，我們現在就是要找到最適合的工藝因子。”

用嘴簡單的話語講解了自己的想法，然後張本松才放其他工程師進來，他們把烘焙好的硅片固定在光刻機上，然後啟動光刻，按照張本松的想法進行反覆曝光。

這一次他們失敗了，硅片在經過刻蝕以後張本松發現在進行了過度曝光後，光刻膠受到很大影響，導致不該被光刻的地方也受到了衍射曝光。

早上方煥志親自為他們送來早餐，見張本松他們居然一晚上沒睡，方煥志嚴厲批評了張本松。

“你應該知道廠里的制度，我也再三強調你必須休息，你這麼經常性熬夜，如果你倒下了，咱南園電子廠的技術攻關還能由誰來主持？你這不僅是對自己的不負責任，更是對廠子發展的不負責任！”

張本松表示虛心接受方煥志的批評，但在早餐結束後，他馬上又主持了技術會議。

在會議上，張本松表示儘管這次測試失敗了，但他們也並非是完全沒有收穫，根據最後對硅片的分析表明他們的方向是對的。

“反覆曝光的確能有效增加光刻的精準度，接下來我們的任務就是慢慢測試次數和曝光強度以及曝光時長等等，我們要進入更加枯燥反覆的測試了。”

等會議結束，方煥志馬上攔住所有人，揪出昨晚上沒睡覺的張本松一行人，要求他們馬上回宿舍休息。

張本松可不幹，他表示自己都已經摸到門檻，馬上就能搞定投影式光刻了，這時候他可不能下火線。

方煥志卻表示他都知道了，接下來都是反覆的測試工作：“這些工作任何工人都能完成，難道你張本松還不信任自己帶出來的兵嗎？到時候你休息好了查看他們的數據就是了。”

最終在方煥志的要求下，張本松和其他幾個熬夜了的工程師們都被強制送回宿舍休息了，哪怕其他幾個工程師反覆解釋他們並沒有熬夜，只是凌晨四點鐘來的也沒用，方煥志本着寧殺錯不放過的原則不予理會。

鄭南事後得知也支持方煥志的做法：“人才才是芯片工作的重中之重，我們現在是需要掌握投影式光刻的技術要點，但並不意味着我們就要竭澤而漁孤注一擲，我們未來還有漸進式和步進式光刻機，我們還需要這些技術出眾的工程師們。”

只是儘管鄭南和方煥志這邊都意見統一，要求張本松他們好好休息，但張本松他們卻擺出一副將在外君命有所不受的架勢，反正都到了晚上，也沒人監督，他們自然繼續通宵測試了。

開始的時候，張本松還在夜間總結會議結束後把其他人趕回去休息，他自己留下來測試。

原本其他人也都是先回去休息，到了三四點再過來。

可每次都看到張本鬆通宵熬夜，後來其他有追求的工程師們和技術工人也乾脆不休息，陪着張本松一起熬夜測試了。

方煥志開始知道這個消息也很憤怒，揪着張本松狠狠批評了一番，還曉之以情動之以理的跟他解釋正常作息的必要性。

張本松也是嘴上答應的好好的，可到了晚上他還是該熬夜熬夜。

方煥志沒辦法，也不可能真每天晚上蹲守車間把張本松抓回宿舍休息，就算真這麼做了，也沒法保證他們會不會回去休息一兩個小時再跑來車間做測試。

方煥志後來也想明白了，乾脆不管他晚上怎麼折騰，白天抓到就讓他回去休息，雖說這麼做還是晝夜顛倒，但總算能保證了這些工程師們的基本休息時間。

當然張本松這些人的拚命是有回報的，就在三天以後，張本松興沖沖的向方煥志彙報：“我們終於成功了！投影式光刻技術，雖然現在良品率還只有30%，但這已經是對接觸式光刻技術質的突破，未來可期，未來可期呀！”

鄭南也很高興，他帶着李興等一眾江夏電子廠幹部親臨芯片車間，看着張本松他們在潔凈室里通過投影式光刻機造出了芯片，並且這一次的運氣很好，良品率達到了前所未有的45%。

鄭南用力握緊拳頭：“這說明你們已經基本掌握了技術，而且30%的良品率已經高過了接觸式光刻，接下來你們要做的，就是繼續熟練和優化他。”

隨後鄭南就在車間的辦公室里給李興他們做出工作調整。

首先是技術升級：“既然他們已經掌握了投影式光刻技術，那我們也沒必要再守着那台接觸式光刻機了，儘管他們是我們重啟光刻機研製的第一台機器，但現在我們也要給他改造成投影式光刻機！”

李興他們對此雖然有些不舍，但還是表示自己會堅定執行命令，現在還是以技術升級為先。

其次是市場銷售，鄭南告訴老廠長，讓他可以對黃品超和趙文和鬆口了。

“這段時間的壓抑相信他們也吃到了足夠的教訓，現在我們的芯片產量提高，我們有能力生產更多學習機，就可以敞開供應了。”

老廠長點頭表示知道怎麼做了。